液晶・半导体

产品种类包括液晶・半导体检查・程序机・输送带/搬运装置。

腾新机械（上海）有限公司引进新技术应用于液晶・半导体的生产・检查装置中。此外，我们还将为您提供包括玻璃基板搬运气垫悬浮传送带、晶圆用自动机・搬运装置等在内的各种方案。

产品种类

项目名称	晶圆用清洗自动机、6英寸～8英寸的micro‐macro检查装置、晶圆装载机。
供应商名称	Atel公司、日本
简介	为您提供可应对2英寸～12英寸的半导体硅胶、以及半导体化合物的自动机。此外，已经开发出了小型晶圆用micro‐macro检查设备。在搬运特殊晶圆方面可为您提供薄型晶圆搬运、弯曲晶圆搬运、非接触搬运等特殊搬运方式。

项目名称	静电涂布装置
供应商名称	Engineeringsystem公司、日本
简介	过去只能使用喷墨/分配器来，现在已经实现使用数微米级别的微细直描设计。采用适合树脂材料喷出的静电诱导方式（Q-jet技术），金属毫微浆料作为10000cps以上的高粘度材料及印刷电路配线材料而备受关注，我们会努力实现通过金属毫微浆料来实现稳定描绘。 从直描切换到喷射模式只需要简单进行程序参数切换即可完成，但却可以实现二流体喷嘴无法比拟的微细液体均一分散。可以实现对MEMS等高低设备的保形涂布。

项目名称	露光装置（半导体露光装置）
供应商名称	目白Precision公司、日本
简介	包括微细型半导体露光设备和透镜式广域统括露光设备。公司拥有焦阑性投影透镜、可以自由组合从高清晰度透镜（0.5μｍL/S）到统括露光设备透镜（大200ｍｍφ、3.5μｍL/S）多种投影透镜。而且，根据露光形式的不同，可以通过使用透镜N/A可变功能，来调整焦点深度实现露光。此外，可以根据客户要求、为您搭配满足您预算要求的遮光罩固定器、晶圆装载机单元等

项目名称	自动macro检查装置、300mm晶圆micro‐macro检查装置
供应商名称	Ioka精密公司、日本
简介	自动macro检查装置是一种可以应对5英寸～12英寸晶圆尺寸、并对缺陷进行自动macro检查的设备。可以检查出图形散焦、擦刮、颗粒、斑点及不规则图形，实现高分节能（Z轴分解能2nm～3nm），高频率检查。此外，也可进行透明薄膜机的薄膜斑点检查。micro‐macro检查设备中搭载了显微镜、干涉测量计，因此可进行目视macro检查设备。